Elaboration et caractérisation de couches minces de nitrures et carbure sur titane obtenues par réaction plasma H.F.

Abstract

Les nitrures et le carbure de titane, possèdent une très dureté, sont connus pour leur bonne résistance à la corrosion et à l’usure. La nitruration et la carburation du titane par simple activation thermique nécessite une température très élevée (850 à 900°C). L’activation plasma est utilisée dans ce travail comme alternatives base température pour cette préparation. L’influence des paramètres particuliers à un plasma sur la nature et la morphologie des couches ainsi que les cinétiques de croissance dans le cas des plasmas N₂, NH₃ et CH₄ sont étudiées. L’analyse, par microscopie électronique à balayage et par spectrométrie à émission ionique secondaire, montre par ailleurs que les couches de nitrures et carbure sont homogènes et uniformes. Un mécanisme de nitruration par plasma H.F. est également proposé.