Simulation par la méthode de Monte Carlo des mouvements des particules lourdes et de la pulvérisation de la cathode dans les décharges lunminescentes à base du plasma

Abstract

Les décharges à basse utilisées dans l’industrie : Panneaux à plasmas génération d’ozone, traitement de surface dépôt de matériaux, dépollution, rayonnement ultraviolet des lampes à excimères, etc… Les travaux menés au cours de cette thèse ont pour objectif de mieux appréhender le fonctionnement des décharges à basse pression. Dans cette étude, nous nous intéresserons spécialement aux panneaux à plasmas constituées uniquement de gaz rare : néon, xénon. Pour atteindre nos objectifs, nous avons développé un code de simulation du transport des particules lourdes dans les décharges luminescente et de la pulvérisation de la cathode dans ces décharges. Notre code BDES_PLASMA1 est basé sur la méthode hybride fluide Monte Carlo qui sera présenté en détails au bout de cette thèse. Une analyse du comportement des différentes grandeurs qui caractérisent le plasma comme les paramètres électriques ainsi que les paramètres décrivant l’interaction particule-parois, a été réalisée en fonction des différents paramètres de la décharge comme les dimensions de la zone de décharge, la tension appliquée et la fréquence de collision. Enfin, grâce au modèle, nous déterminons le comportement des particules dans la décharge. Ainsi, nous présenterons à la fin de ce travail le phénomène de pulvérisation et les paramètres qui l’influencent.