Contribution à l'étude de l'interface entre un isolant et une couche mince méttalique par électroreflectance

Abstract

L’objectif de ce travail est d’apporter une contribution expérimentale à l’étude des interfaces métal-isolant dans les structures métal-isolant-métal (M-I-M) suivantes : Al-Al2O3-Al , Al-Al2O3-Ag , Al-AL2O3-Al-Ag , Al-Al2O3-Ag-Al, Al-SiO-Al, Al-SiO-Ag. Nous avons utilisé une méthode optique (électroréflectance) en parallèle avec des mesures électroniques (caractéristiques courant-tension mesure, de la capacité en fonction de la fréquence). Les isolants que nous avons utilisés sont neutres en électroréflectance donc le signal que nous obtenons par cette méthode est caractéristique de l’interface métal-isolant. Grâce à une méthode de fabrication mise au point au laboratoire , nous arrivons à obtenir une interface Al-Al2O3-Ag lisse. Nous avons ensuite étudié à l’aide des structures Al-AL2O3-Al-Ag et Al-Al2O3-Ag-Al la variation du spectre d’électroréflectance due à la modification de cette interface. Nous avons mis en évidence un phénomène d’absorption optique caractéristique de la rugosité de l’interface Al2O3- (Ag, Al). L’étude des structures Al-Sio-Ag montre une modification des propriétés volumiques du SiO liée à la présence de la présence de l’argent. Sur le plan théorique nous avons établi un modèle de diffusion à travers une couche mince où nous avons supposé que le diffusion se fait uniformément le long d’un front plan ce qui nous a permis d’expliquer les résultats obtenus à l’aide des structures Al-Al2O3-Al.