Influence des conditions expérimentales de dépôt sur la structure et la taille des grains de quelques couches minces obtenues par dépôt ionique

Abstract

La texture et la taille des grains de dépôts ioniques d’oxyde d’indium dopé à l’étain (ITO), d’aluminium et de nitrure et carbure de titane ont été déterminées à partir de diagrammes de diffraction X. la variation dans un large domaine des paramètres de dépôt (température du substrat, vitesse de dépôt, pression du gaz réactif, tension de polarisation, courant de décharge) a permis de cerner l’évolution des dimensions moyennes des grains en fonction des conditions d’élaboration des différents dépôts. Les dépôts d’ITO présentent toujours une forte orientation < 111 >, ceux de nitrure ou de carbure de titane sont la plupart du temps orientés selon < 100 > ou < 110 > alors que les dépôts d’aluminium présentent une orientation statistique.