Etude et réalisation de dépôts de nitrure de titane à l'intérieur de tubes

Abstract

Ce travail montre qu’on peut réaliser des couches anti-usure dures et adhérentes de nitrure de titane à l’intérieur de tubes de faible diamètre. Un dispositif expérimental pour réaliser des dépôts en présence d’une décharge électrique est proposé. L’évaporation s’effectue par interaction d’un faisceau laser pulsé avec une cible de titane située à l’intérieur du tube substrat. L’influence de paramètres comme la densité d’énergie, le débit d’azote et l’intensité du courant de décharge a été étudiée par rapport aux caractéristiques des dépôts (dureté, adhérence…). On montre qu’on peut réaliser par cette méthode d’évaporation des dépôts durs et adhérents avec ou sans décharge électrique, un nettoyage préalable du substrat dans la décharge étant indispensable.