Etude de l'effet électrochrome au sein des couches minces de MoO et WO préparées par CVD

Abstract

Des couches polycristallines de MoO₃ ont été préparées par décomposition en phase vapeur de l’hexacarbonyle de molybdène Mo(CO)₆. La structure et la composition des couches ont été déterminées par diffraction de rayons X, d’électrons, microscopie électronique et rétrodiffusion de particules α. Les variations, en fonction des paramètres de fabrication, des caractéristiques électriques (résistivité, mobilité, constante de Hall, …) et optiques (indices, gap) des couches ont été étudiées. L’effet électrochrome a été mis en évidence et caractérisé dans ces couches. Les résultats obtenus et comparés à ceux fournis par des couches de WO₃ préparées de la même manière ont permis la préparation de couches "mixtes" MoO₃/WO₃ dont les caractéristiques électrochromes ont été interprétées qualitativement à partir du modèle de séparation de bandes de Hubbard-Mott.