Etude de l'émission négative secondaire par pulvérisation ionique de composés métalliques : Application à la formation d'ions négatifs de certains métaux

Abstract

La pulvérisation d’un solide comparant plusieurs espèces atomiques est un phénomène complexe impliquant de nombreux processus différents. Nous avons étudiés particulièrement l’émission ionique négative secondaire de composés métalliques, bombardés par un faisceau d’ions, en régime dynamique. Nous avons mis en évidence l’existence d’ions négatifs métalliques, comparé l’émission négative du métal pur avec celle de ses composés et montré que la présence, au sein du composé métallique, d’une espèce électronégative augmente le rendement d’ions négatifs du métal. A partir d’un modèle général d’interaction atome (ion) – surface, nous avons interprété la formation d’ions métalliques secondaires par une transition électronique résonnante, conduisant pour une même cible à une augmentation de courant d’ions négatifs et positifs émis, ce qui n’était pas le cas pour les modèles d’émission ionique secondaire proposés auparavant.