Contribution à l'étude des propriétés mécaniques et d'adhésion des films minces

Abstract

Au cours de ce travail, nous avons analysé et étudié le phénomène de décohésion des films minces de leurs substrats. Utilisant le Microscope à Force Atomique (AFM) couplé avec une micromachine de déformation, nous avons : - Détecté et observé les premiers stades de décollement d’un film mince d’acier inoxydable 304 L élaboré par pulvérisation ionique sur un substrat de polycarbonate, - Déterminé la valeur de leur contrainte critique qui déclenche ce phénomène, - Montré que le phénomène de décollement est bien lié aux contraintes et à leur amplitude. Dans une seconde partie, nos avons proposé une méthode pour la détermination du module d’Young des films minces. Cette méthode est essentiellement basée sur un modèle qui traite les décollements et sur les performances de l’AFM dans la détermination de la géométrie de ces décollements. Utilisant la méthode des éléments finis et le logiciel de calcul CASTEM 200, nous avons établi pour la première fois une expression analytique de la force de glissement d’une dislocation coin situé près d’un dièdre d’un solide.