Etude théorique et expérimentale de la nanolithographie par électrons
| dc.contributor.author | Sekkaki, Noureddine | |
| dc.date.accessioned | 2008-09-24T11:05:03Z | |
| dc.date.accessioned | 2025-12-09T14:13:24Z | |
| dc.date.available | 2008-09-24T11:05:03Z | |
| dc.date.issued | 1987-07-10 | |
| dc.description.collaborator | Rey, G. (Président) | |
| dc.description.collaborator | Pyee, M. (Jury) | |
| dc.description.collaborator | Sevely, J. (Jury) | |
| dc.description.collaborator | Verdier, P. (Jury) | |
| dc.description.collaborator | Balladore, J.L. (Jury) | |
| dc.description.collaborator | Martinez, J.P. (Jury) | |
| dc.description.laboratoire | Optique électronique du CNRS, (LAB.) | |
| dc.format.extent | 19968 bytes | |
| dc.format.mimetype | application/msword | |
| dc.identifier.uri | https://toubkalpreprod.imist.ma/handle/123456789/1564 | |
| dc.language.iso | fr | en |
| dc.publisher | Université Paul Sabatier - Toulouse III (Sciences), Toulouse | en |
| dc.subject | Etude théorique | en |
| dc.subject | Expérimentale | en |
| dc.subject | Nanolithographie | en |
| dc.subject | Electron | en |
| dc.subject | Lithographique | en |
| dc.subject | Monte-Carlo | en |
| dc.title | Etude théorique et expérimentale de la nanolithographie par électrons | en |