Etude de la croissance en films minces de céramiques SiNxCy : H par dépôts chimiques en phase vapeur à partir d'organosilazanes
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Institut National Polytechnique, Toulouse
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Propriété des précurseurs, Paramétrique de la croissance, Physico-chimique, Morphologique, Microscopie électronique, Analyse de la phase gazeuse, Sciences des matériaux, Hydrogène, Film, Mécanisme de croissance