Etude de la croissance en films minces de céramiques SiNxCy : H par dépôts chimiques en phase vapeur à partir d'organosilazanes - Hatim, Zineb (Institut National Polytechnique, Toulouse, 1987)
Keywords: Propriété des précurseurs; Paramétrique de la croissance; Physico-chimique; Morphologique; Microscopie électronique; Analyse de la phase gazeuse; Sciences des matériaux; Hydrogène; Film; Mécanisme de croissance