Tomographie laser à balayage : Application au test de qualification des semi-conducteurs - Baroudi, Ahmed (Académie de Montpellier, Université Montpellier II des Sciences et Techniques du Languedoc, Montpellier, 1989)
La tomographie laser à balayage est une nouvelle technique non destructive d’imagerie numérique. Elle est ici appliquée avec succès à l’inspection à trois dimensions des défauts dans différents matériaux semi-conducteurs. L’auteur présente une réalisation d’un prototype de tomographie, et quelques résultats typiques d’analyse sur les composés III-V, le silicium et CdTe, obtenus avec cet instrument informatisé.
Keywords: Composant; Signaux; Système; Informatique industrielle; Tomographie laser; Traitement d'image; Contraste; Banque d'image; Haute résolution; Microscopie; Microprecipité; Silicium; Composé III-V