Etude de couches minces de tungstènes noir et de tungstène reflecteur par spectroscopie Auger

Abstract

Ce travail porte d’une part, sur l’analyse quantitative de la composition chimique par spectroscopie Auger de couches minces de tungstène "noir" et de tungstène "réflecteur" préparées par CVD. Cette méthode d’analyse utilise des échantillons de référence : oxydes et carbures de tungstène (W, WO₂, WO₃, WC et W₂C). L’étude des déplacements chimiques des pics Auger du tungstène, dans ses différents états d’oxydation (W, WO₂ et WO₃), a permis d’autre part la détermination de l’état d’oxydation du tungstène dans le tungstène "noir", en accord avec les résultats de diffraction des rayons X et avec nos mesures d’analyse quantitative. On étudie aussi l’effet des bombardements ioniques et électronique sur la composition des surfaces d’oxydes de tungstène.