Tomographie laser à balayage : Application au test de qualification des semi-conducteurs

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Toubkal : Le Catalogue National des Thèses et Mémoires

Tomographie laser à balayage : Application au test de qualification des semi-conducteurs

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dc.contributor.author Baroudi, Ahmed
dc.description.collaborator Savelli, M. (Président)
dc.description.collaborator Verdone, M. (Jury)
dc.description.collaborator Fillard, J.P. (Jury)
dc.description.collaborator Journeau, G. (Jury)
dc.description.collaborator Van Rossum, M. (Jury)
dc.description.collaborator Froelicher, M. (Jury)
dc.date.accessioned 2009-05-18T10:43:54Z
dc.date.available 2009-05-18T10:43:54Z
dc.date.issued 1989-05-25
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/123456789/2997
dc.description.abstract La tomographie laser à balayage est une nouvelle technique non destructive d’imagerie numérique. Elle est ici appliquée avec succès à l’inspection à trois dimensions des défauts dans différents matériaux semi-conducteurs. L’auteur présente une réalisation d’un prototype de tomographie, et quelques résultats typiques d’analyse sur les composés III-V, le silicium et CdTe, obtenus avec cet instrument informatisé. en
dc.format.extent 19968 bytes
dc.format.mimetype application/msword
dc.language.iso fr en
dc.publisher Académie de Montpellier, Université Montpellier II des Sciences et Techniques du Languedoc, Montpellier en
dc.subject Composant en
dc.subject Signaux en
dc.subject Système en
dc.subject Informatique industrielle en
dc.subject Tomographie laser en
dc.subject Traitement d'image en
dc.subject Contraste en
dc.subject Banque d'image en
dc.subject Haute résolution en
dc.subject Microscopie en
dc.subject Microprecipité en
dc.subject Silicium en
dc.subject Composé III-V en
dc.title Tomographie laser à balayage : Application au test de qualification des semi-conducteurs en

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