Etude théorique et expérimentale de la nanolithographie par électrons

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dc.contributor.author	Sekkaki, Noureddine
dc.description.collaborator	Rey, G. (Président)
dc.description.collaborator	Pyee, M. (Jury)
dc.description.collaborator	Sevely, J. (Jury)
dc.description.collaborator	Verdier, P. (Jury)
dc.description.collaborator	Balladore, J.L. (Jury)
dc.description.collaborator	Martinez, J.P. (Jury)
dc.date.accessioned	2008-09-24T11:05:03Z
dc.date.available	2008-09-24T11:05:03Z
dc.date.issued	1987-07-10
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/1564
dc.format.extent	19968 bytes
dc.format.mimetype	application/msword
dc.language.iso	fr	en
dc.publisher	Université Paul Sabatier - Toulouse III (Sciences), Toulouse	en
dc.subject	Etude théorique	en
dc.subject	Expérimentale	en
dc.subject	Nanolithographie	en
dc.subject	Electron	en
dc.subject	Lithographique	en
dc.subject	Monte-Carlo	en
dc.title	Etude théorique et expérimentale de la nanolithographie par électrons	en
dc.description.laboratoire	Optique électronique du CNRS, (LAB.)

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